Spesifikasie | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (lugdraende spoor) |
Motor tipe | Driefase ysterlose motor | Stemspoelmotor+ |
Resolusie | Standaard 100nm digitale hoeveelheid | 1vpp af na 5nm |
Motorstoot | Deurlopende 60N/piek 210N | Deurlopende 60N/piek 210N |
Minimum stapgrootte[nm] | 200nm | 100nm |
Reis [mm] | 200×200 | 10 |
Herhaalbaarheid [um] | ±0,3 | |
Posisie akkuraatheid [um] | ±1 | ±0,5 |
platheid [um] | 10um | 5um |
Reguitheid [um] | 1um | 1um |
Maksimum spoed [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Laai kapasiteit [kg] | 5 kg (Z-as met pneumatiese konstante kragbalansgewig) |